水中含有大量雜質(zhì)。只有去除水中的雜質(zhì)，才能用于對(duì)水純度要求高的行業(yè)。超純水設(shè)備可以去除水中的各種雜質(zhì)。超純水系統(tǒng)處理后的水可以滿足電子行業(yè)的需求。、實(shí)驗(yàn)室等高標(biāo)準(zhǔn)用水，因此可以通過超純水設(shè)備去除其中的雜質(zhì)。

超純水設(shè)備去除雜質(zhì)

1. 溶解無機(jī)鹽

有鈉、鈣、鎂等鹽類，溶于水形成正離子。當(dāng)含有這些離子的水沖洗半導(dǎo)體器件時(shí)，這些雜質(zhì)會(huì)擴(kuò)散到集成電路表面，造成短路。過去是用蒸餾水去除水中的無機(jī)鹽，現(xiàn)在是三重蒸餾水。水的電阻率只有3兆歐-厘米，而且水中仍然含有大于01ppm的NaCl。最近，反滲透去離子很有用。所以使用離子交換樹脂。陽離子交換脂和陰離子交換樹脂分開使用，易于再生?；齑搽x子交換樹脂用于離子交換的最后階段，起到看門人的作用。這種水可以達(dá)到 18 兆歐厘米（25 攝氏度）。

2. 溶解有機(jī)物

有工業(yè)廢物、洗滌劑、可生物降解產(chǎn)品和微生物代謝物。這些可以通過活性炭吸附法去除。炭床要放在離子交換樹脂之前，因?yàn)榛钚蕴勘旧頃?huì)帶雜質(zhì)。必須注意的是，進(jìn)入樹脂床的水首先要除去有機(jī)物，因?yàn)殡x子交換樹脂很容易被有機(jī)物（如腐殖酸）污染。反滲透可以去除分子量大于300的有機(jī)物，分子量小于300的有機(jī)物可以去除90%。

3. 顆粒物

在很多地方容易生產(chǎn)，如碳床、樹脂床、深度過濾等設(shè)備。雖然使用了一些方法來實(shí)現(xiàn)高電阻率，但顆粒物并沒有被有效去除。這會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體器件中出現(xiàn)針孔、短路、開路、內(nèi)部擊穿和光刻膠脫落等缺陷。為了去除顆粒物，僅使用膜過濾。一般采用孔徑為0.45微米的微孔濾膜作為標(biāo)準(zhǔn)。對(duì)于特殊需要，采用孔徑為0.22微米的微孔濾膜去除膠體鐵、膠體硅和小細(xì)菌。反滲透還可以去除小顆粒。